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精密光学グレースケールフィルム 連続グレースケール制御能力
光学灰色フィルム
,精密グレースケールフィルム
グレースケールフィルム
グレースケールフィルムは、連続的なグレースケール制御機能を備えた精密光学フィルムであり、主に光学キャリブレーション、露光制御、イメージングテスト、およびハイエンドパターン転写シナリオで使用されます。
標準仕様（プロフェッショナルなカスタマイズに対応）
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素材 |
コダック、アグファ |
厚さ |
0.18mm |
|
最小線幅 |
8μm |
線幅誤差 |
1～2μm |
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解像度 |
8000dpi/16000dpi/25400dpi/50800dpi |
サイズ |
710×810mm |
グレースケールフィルムの動作原理
1. グレースケール実装方法
主な技術的アプローチは2つあります。
濃度変調（OD制御）:材料の光学濃度を制御することにより、異なる強度の光が異なる領域を透過し、連続的または段階的なグレースケールを実現します。
面積変調（ハーフトーン）:「ドット数」を通じて、異なるサイズまたは密度の小さなドットマトリックス（印刷ドットに類似）を使用してグレースケール効果をシミュレートします。
2. 光エネルギー分布制御
露光またはフォトリソグラフィープロセス中に、異なるグレースケール領域は異なる光エネルギーに対応します：高光透過領域→高露光エネルギー、
低光透過領域→低露光エネルギー。これにより、フォトレジスト、感光性材料、またはその他の媒体上に異なる深さまたは高さの構造を形成できます。
3. グレースケールから3D構造への変換
これはグレースケールフィルムの最も重要な機能の1つです。
単一の露光により、複数の高さの構造（3D輪郭）、連続的な傾斜（グラデーション構造）、マイクロレンズ、または湾曲した構造を、複数のアライメント露光なしで実現できます。
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