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高精度クォーツガラス網膜 フォトリトグラフィー網膜
高精度ガラス網膜
,クォーツガラス網膜
,グラス・フォトリトグラフィー レティクル
2基本構造と材料
(1) 集結円のパターン (通常は交差点が伴い) は,透明な光学基板 (光学ガラス,クォーツなど) の表面で通常作成されます.) 真空コーティング (高反射性クロムフィルムなど) または光立体写真を用いて.
(2) 伝達型設計: これは,主に伝達光経路で動作し,光が画像撮影のための透明領域を通過することを可能にすることを意味します.陽 reticles (パターン自体は不透明なクロム層) と陰 reticles (パターン領域は光伝達のために開いて残されている) に分割することができます塗装されている).
(3) サイズ仕様: リングは通常,固定直径の距離 (例えば,レベルごとに0.5mm,1mmなど) を有し,番号付けまたは中央の十字線を配置して,調整を容易にする.
3主な応用シナリオ
(1) 顕微鏡システム校正:対象を変更した後に拡大対応を迅速に校正し,測定値の偏差を修正することは,日常的な実験室試験で一般的に使用される校正ツールです.
(2) オプティカル・システム・アライナメント:レーザーの光路の同軸性調整に役立ち,光束がシステムの光軸の中心と一致するかどうかを迅速に決定する.
(3) 産業用視力校正:カメラの線形歪みの修正のために使用され,サブピクセルレベルの位置参照を提供する.半導体ウェーファー欠陥検出,PCBボードの穴座標測定に広く使用される.他のシナリオ.
(4) 精密光学器具のサポート:視界や望遠鏡の画像平面に設置され,標的の中心の調整と角偏差の測定を助けます.
4.メインパラメータ情報
|
パラメータ情報 |
普通の精度 |
高精度 |
|
材料 |
ソーダグラス/クォーツグラス/カスタマイズ |
クォーツガラス |
|
最大外側の寸法 |
厚さ関係/228.6*228.6mm |
127*127mm |
|
最小外側の寸法 |
1*1mm |
2*2mm |
|
最大パターンサイズ |
厚さに関連した 218.6*218.6/280*280mm |
121*121mm |
|
平らさ |
サイズ関連/従来の10 μm |
サイズ関連 |
|
密度値 |
黄色のクロムと明るいクロムは一般的に ≥3.0/最大 ≥6である.0; 青いクロム ≥ 50 |
/ |
|
厚さ (カスタマイズ可能) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2.3/3mm |
2.3mm |
|
位置精度 |
通常の2 μm/最大1 μm |
0.5μm |
|
線幅精度 |
通常の0.2 μm/最大0.1 μm |
0.05μm |
|
最小ライン幅 |
通常の2 μm/最大1 μm |
0.5μm |
|
最小直径 |
通常の2 μm/最大1 μm |
0.5μm |
高精度クォーツガラス網膜 フォトリトグラフィー網膜
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