Tấm hiệu chuẩn Halcon Bảng hiệu chuẩn tổ ong Độ rộng đường tối thiểu 1µm / 0.55µm

Quy trình sản xuất

Quang khắc

Đế kính

Thủy tinh thạch anh (silica nóng chảy)/thủy tinh soda

Độ rộng đường kẻ tối thiểu

1µm / 0.55µm

Tỷ lệ truyền qua (@550nm)

>95%

Độ chính xác đặc trưng

±1µm

Hệ số giãn nở nhiệt

 (20-200°C)

<5.0×10⁻⁷/K

Lớp phủ

Crôm vàng, crôm sáng

, crôm xanh (phản xạ thấp)

Tỷ lệ giãn nở (20-200°C)

0.00006% (0.6µm/°C của 1m)

Độ phản xạ

< 13.4% @550nm

Độ phẳng bề mặt

<0.55µm (chiều dài<50mm)

< 1.8% @650nm

<2µm (chiều dài<100mm)

< 2.67% @750nm

100mm)

Độ chính xác lớp phủ

120nm (±0.20nm)

Độ nhám bề mặt

<0.025µm

Mật độ quang OD

Crôm vàng 3 (Xanh 5)

Độ dày

1mm,1.6mm,2.3mm,3mm(±0.2mm)(500*500*4.8)

Nền trắng

Độ rộng đường kẻ tối thiểu: 10µm

Kích thước tối thiểu/tối đa

Tối thiểu: 2×2 mm

Độ dày nền trắng: 40 µ m

(lớp phủ trắng mịn ở mặt sau)

Tối đa: 800×960mm (±0.1mm)

Hình dạng dương & âm

Dương: mẫu mờ

Âm: mẫu mờ trong

Hình thức và hình dạng

Vuông

Quy trình sản xuất

Khắc quang

(Máy khắc quang màng phim)

Ứng dụng

Dùng cho truyền qua/đèn nền

/kiểm tra chức năng

Độ rộng đường kẻ tối thiểu

10 µ m/30 µ m tùy chọn

Hệ số giãn nở

Màng phim co lại khi nóng và giãn ra khi nguội

Độ chính xác đặc trưng

±10µm

10µm/°C của 1m

Lớp phủ

Bạc bromua

Tỷ lệ truyền qua (400~700nm)

>90%      tia cực tímhồng ngoại

Độ dày lớp phủ

2µm

Độ dày đế màng phim

0.18mm  (±0.01mm)

Mật độ quang OD

Kích thước tối đa

0.71×0.81m (±0.1mm)(độ rộng đường kẻ tối thiểu 10µm)

1.68×3.5m (±0.1mm)(độ rộng đường kẻ tối thiểu 30µm)

Màu sắc

Thang độ xám đen,

Thang độ xám hình sin

Hình thức

Có sẵn cắt laser, cắt cạnh thẳng và khoét lỗ tròn