High Precision Quartz Glass Reticle Photolithography Reticle

2- Cấu trúc cơ bản và vật liệu

(1) Các mô hình vòng tròn tập trung (thường đi kèm với đường chéo) thường được tạo ra trên bề mặt của một nền quang học trong suốt (chẳng hạn như thủy tinh quang học, thạch anh, v.v.).) sử dụng lớp phủ chân không (chẳng hạn như một bộ phim crôm phản xạ cao) hoặc photolithoography.

(2) Thiết kế truyền: Điều này có nghĩa là nó hoạt động chủ yếu trong đường dẫn ánh sáng truyền, cho phép ánh sáng đi qua khu vực trong suốt để chụp hình.nó có thể được chia thành lưới dương (hình mẫu chính là một lớp crôm mờ) và lưới âm (khu vực mẫu được để mở để truyền ánh sáng, trong khi phần còn lại được phủ).

(3) Các thông số kỹ thuật kích thước: Các vòng thường có khoảng cách đường kính cố định (ví dụ: 0,5 mm, 1 mm, vv cho mỗi cấp) và được đánh số hoặc có một đường chéo trung tâm để hỗ trợ sắp xếp.

3Các kịch bản ứng dụng chính

(1) Định chuẩn hệ thống kính hiển vi:Kiểm tra nhanh sự tương ứng phóng to sau khi thay đổi mục tiêu và điều chỉnh sai lệch đọc đo là một công cụ hiệu chuẩn thường được sử dụng cho các thử nghiệm phòng thí nghiệm thông thường.

(2) Phân phối hệ thống quang:phục vụ như một mục tiêu kết hợp chùm tia, hỗ trợ điều chỉnh đồng trục đường quang laser và nhanh chóng xác định xem chùm tia trùng với trung tâm trục quang của hệ thống.

(3) Kiểm tra tầm nhìn công nghiệp:Được sử dụng để điều chỉnh biến dạng quang của máy ảnh, cung cấp tham chiếu vị trí ở cấp độ pixel, được sử dụng rộng rãi trong phát hiện khiếm khuyết wafer bán dẫn, đo tọa độ lỗ trên bảng PCB,và các kịch bản khác.

(4) Hỗ trợ công cụ quang học chính xác:Được lắp đặt trên mặt phẳng hình ảnh của các điểm ngắm và kính thiên văn, hỗ trợ trong việc sắp xếp trung tâm mục tiêu và đo độ lệch góc.

4.Thông tin tham số chính