High Precision Quartz Glass Reticle Photolithography Reticle
Mạng kính chính xác cao
,Quartz Glass Reticle
,Glass Photolithography Reticle
|
Thông tin tham số |
độ chính xác thông thường |
độ chính xác cao |
|
Vật liệu |
Kính soda / thủy tinh thạch anh / tùy chỉnh |
Kính thạch anh |
|
Kích thước bên ngoài tối đa |
Độ dày liên quan/228.6*228.6mm |
127*127mm |
|
Kích thước bên ngoài tối thiểu |
1*1mm |
2*2mm |
|
Kích thước mẫu tối đa |
Xét theo độ dày 218.6*218.6/280*280mm |
121*121mm |
|
Phẳng |
Phụ thuộc vào kích thước / thông thường 10 μ m |
Phụ thuộc vào kích thước |
|
Giá trị mật độ |
Chromium màu vàng và chromium sáng thường là ≥ 3,0/tối đa ≥ 6.0; Blue chromium ≥ 5.0 |
/ |
|
Độ dày (có thể tùy chỉnh) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2.3/3mm |
2.3mm |
|
Độ chính xác vị trí |
Thông thường 2 μ m/tối đa 1 μ m |
0.5μm |
|
Độ chính xác chiều rộng đường |
Thông thường 0,2 μm/tối đa 0,1 μm |
0.05μm |
|
Chiều rộng đường tối thiểu |
Thông thường 2 μ m/tối đa 1 μ m |
0.5μm |
|
Chiều kính tối thiểu |
Thông thường 2 μ m/tối đa 1 μ m |
0.5μm |