ওয়েফার ক্যালিব্রেশন বোর্ড ওয়েফার মনিটরিং ক্যালিব্রেশন লক্ষ্যমাত্রা

একটি ওয়েফার ক্যালিব্রেশন বোর্ড একটি উচ্চ-নির্ভুলতা রেফারেন্স ডিভাইস যা সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার পরিদর্শন, পরিমাপ এবং দৃষ্টি অবস্থান ব্যবস্থাগুলিতে ব্যবহৃত হয়। এটি নির্ভরযোগ্য জ্যামিতিক মাত্রা সরবরাহ করে,অবস্থান, কোণ, সমতলতা এবং অপটিক্যাল পরামিতির রেফারেন্সগুলি সরঞ্জামগুলির জন্য একটি সাবস্ট্র্যাটে সঠিকভাবে ক্যালিব্রেটেড স্ট্যান্ডার্ড প্যাটার্ন তৈরি করে।"স্ট্যান্ডার্ড রুলার" এবং "রেফারেন্স কোঅর্ডিনেট সিস্টেম" এর সমতুল্য. এই যন্ত্রটি ক্যালিব্রেশন বোর্ডে পরিচিত এবং সুনির্দিষ্ট স্ট্যান্ডার্ড নিদর্শনগুলি পরিমাপ করে, প্রকৃত পরিমাপের ফলাফলগুলি স্ট্যান্ডার্ড মানগুলির সাথে তুলনা করে,এইভাবে সরঞ্জাম ত্রুটি সংশোধন এবং পরিমাপ এবং অবস্থান সঠিকতা উন্নত.

1সাধারণ কাঠামো

ওয়েফার ক্যালিব্রেশন বোর্ডগুলি সাধারণত সিলিকন ওয়েফার, গ্লাস, কোয়ার্টজ, বা সুনির্দিষ্টভাবে প্যাটার্নযুক্ত পৃষ্ঠের সাথে অন্যান্য অত্যন্ত স্থিতিশীল স্তরগুলি ব্যবহার করে। অ্যাপ্লিকেশনটির উপর নির্ভর করে এটি অন্তর্ভুক্ত করেঃ

(১) উচ্চ নির্ভুলতা ক্রস/মার্ক চিহ্ন

(2) স্ট্যান্ডার্ড লাইনউইথ এবং স্পেসিং প্যাটার্ন

(3) গ্রিড বা অ্যারে কাঠামো

(৪) সাধারণ আকারের নিদর্শন যেমন বৃত্ত এবং বর্গক্ষেত্র

(৫) বিভিন্ন দিক এবং স্কেলে পরীক্ষার কাঠামো

(৬) উচ্চতা/সমতলতা সনাক্তকরণের জন্য রেফারেন্স এলাকা

2. প্রধান বৈশিষ্ট্য

ওয়েফার ক্যালিব্রেশন বোর্ডের প্রধান বৈশিষ্ট্যগুলি নিম্নরূপ সংক্ষিপ্ত করা যেতে পারেঃ

(1) উচ্চ নির্ভুলতাঃক্যালিব্রেশন বোর্ডের নিদর্শনগুলির মাত্রা, দূরত্ব এবং অবস্থানগুলি সঠিকভাবে মেশিনযুক্ত এবং পরিমাপ করা হয়, একটি স্থিতিশীল এবং নির্ভরযোগ্য স্ট্যান্ডার্ড রেফারেন্স সরবরাহ করে।

(২) উচ্চ স্থিতিশীলতা:সিলিকন, কোয়ার্টজ এবং গ্লাসের মতো ভাল মাত্রিক স্থিতিশীলতার উপকরণগুলি সাধারণত ব্যবহৃত হয়, যা তাপমাত্রা, আর্দ্রতা এবং দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহারের কারণে মাত্রিক পরিবর্তনগুলি হ্রাস করতে পারে।

(3) উচ্চ সমতলতাঃ Tস্তর পৃষ্ঠ উচ্চ সমতলতা আছে, যা মাইক্রোস্কোপিক ইমেজিং, চাক্ষুষ পরিদর্শন, এবং উচ্চতা পরিমাপ সঠিকতা নিশ্চিত করতে উপকারী।

(৪) প্যাটার্নের মানসম্মতকরণ:বিভিন্ন ধরণের স্ট্যান্ডার্ড প্যাটার্নগুলি সরঞ্জাম এবং অ্যাপ্লিকেশন প্রয়োজনীয়তা অনুসারে ডিজাইন করা যেতে পারে, যেমন সারিবদ্ধতা চিহ্ন, ক্রস চিহ্ন, লাইনউইথ / স্পেসিং কাঠামো, গ্রিড এবং অ্যারে।(5) ভাল পুনরাবৃত্তিযোগ্যতাঃক্যালিব্রেশন বোর্ডের মাত্রা এবং নিদর্শনগুলি ভাল পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা প্রদর্শন করে, এটি পুনরাবৃত্তি পরিমাপ, নির্ভুলতা যাচাইকরণ এবং দীর্ঘমেয়াদী ড্রাইভ পর্যবেক্ষণের জন্য উপযুক্ত করে তোলে।

(৬) বিস্তৃত প্রয়োগযোগ্যতা:এটি ওয়েফার পরিদর্শন, এওআই দৃষ্টি সিস্টেম, মাইক্রোস্কোপিক পরিমাপ, ওয়েফার সারিবদ্ধকরণ, গতি প্ল্যাটফর্ম অবস্থান এবং অপটিক্যাল সিস্টেম ক্যালিব্রেশন ব্যবহার করা যেতে পারে।

(৭) উচ্চ পৃষ্ঠের গুণমান:এটি সাধারণত অপটিক্যাল পরিদর্শন ফলাফলের সাথে হস্তক্ষেপকে হ্রাস করার জন্য কম পৃষ্ঠের রুক্ষতা এবং কম ত্রুটি এবং কণা প্রয়োজন।

(8) কাস্টমাইজযোগ্যঃপ্যাটার্নের আকার, বিন্যাস, উপকরণ এবং নির্ভুলতার স্তরটি ওয়েফারের আকার, সরঞ্জামের নির্ভুলতা, পরিদর্শন বৃহত্তরকরণ এবং ক্যালিব্রেশন আইটেমগুলির উপর নির্ভর করে কাস্টমাইজ করা যেতে পারে।

3. ওয়েফার ক্যালিব্রেশন বোর্ডের প্রধান অ্যাপ্লিকেশন এলাকা

ওয়েফার ক্যালিব্রেশন বোর্ডগুলি মূলত অর্ধপরিবাহী উত্পাদন, ওয়েফার পরিদর্শন, অপটিক্যাল পরিমাপ এবং যথার্থ অবস্থান নির্ধারণে ব্যবহৃত হয়, বিশেষত এর মধ্যে রয়েছেঃ

(1) ওয়েফার পরিদর্শন সরঞ্জাম

ওয়াফারের ত্রুটি সনাক্তকরণ, মাত্রা পরিদর্শন এবং পৃষ্ঠ পরিদর্শন, সরঞ্জাম পরিদর্শন নির্ভুলতা, পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা এবং স্থিতিশীলতা যাচাই করার জন্য সরঞ্জামগুলি ক্যালিব্রেট করতে ব্যবহৃত হয়।

(2) অপটিক্যাল মাইক্রোস্কোপিক পরিমাপ

মাইক্রোস্কোপ, অপটিক্যাল পরিমাপ যন্ত্রপাতি, সিডি-এসইএম সহায়ক সিস্টেম ইত্যাদিতে প্রয়োগ করা হয়, যা সরঞ্জামগুলির বৃহত্তরীকরণ, পিক্সেল আকার, লাইনউইথ এবং দূরত্বকে ক্যালিব্রেট করে।

(3) ওয়েফার সমন্বয় এবং অবস্থান

ওয়েফার অ্যালাইনমেন্ট সিস্টেম, ভিজ্যুয়াল পজিশনিং সিস্টেম এবং মোশন প্ল্যাটফর্মে ব্যবহৃত হয়,স্ট্যান্ডার্ড চিহ্ন এবং অন্যান্য গ্রাফিক্সের মাধ্যমে সঠিক সমন্বয় রেফারেন্স স্থাপন করা যা ওয়েফারের অবস্থান সঠিকতা উন্নত করে.

(4) ফটোলিথোগ্রাফি এবং এক্সপোজার সরঞ্জাম

এক্সপোজার সরঞ্জামগুলির সারিবদ্ধতার নির্ভুলতা, প্যাটার্ন অবস্থানের নির্ভুলতা এবং ইমেজিং প্রভাব যাচাই করতে ব্যবহৃত হয়, সরঞ্জাম ডিবাগিং এবং পারফরম্যান্স যাচাইকরণে সহায়তা করে।

(5) সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া পরিদর্শন

ফটোলিথোগ্রাফি, ইটচিং এবং পাতলা ফিল্ম জমা দেওয়ার মতো প্রক্রিয়াগুলির পরে প্যাটার্ন পরিদর্শন করার জন্য ব্যবহৃত হয়, স্ট্যান্ডার্ড কাঠামোর মাধ্যমে লাইনউইথ, স্পেসিং এবং প্যাটার্ন মর্ফোলজি যাচাই করে।

(6) অটোমেটেড অপটিক্যাল ইন্সপেকশন (AOI) সিস্টেম

ক্যামেরা, লেন্স, আলোর উত্স এবং চিত্র অ্যালগরিদমগুলি ক্যালিব্রেট করার জন্য ওয়েফার এওআই এবং মেশিন ভিজন সিস্টেমে স্ট্যান্ডার্ড রেফারেন্স হিসাবে ব্যবহৃত হয়, সঠিক পরিদর্শন মাত্রা এবং অবস্থান নিশ্চিত করে।

(7) যথার্থ গতি প্ল্যাটফর্ম

এক্স / ওয়াই / জেড অক্ষ গতির নির্ভুলতা, পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা এবং সমন্বয় সিস্টেমকে ক্যালিব্রেট করতে ওয়েফার হ্যান্ডলিং, পরিদর্শন এবং প্রসেসিং সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয়।

(8) সরঞ্জাম গবেষণা ও উন্নয়ন এবং গ্রহণযোগ্যতা

অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম গবেষণা ও উন্নয়ন, ইনস্টলেশন, কমিশনিং এবং কারখানার গ্রহণের সময় ব্যবহৃত হয় যাতে সরঞ্জামগুলি নির্দিষ্ট নির্ভুলতা সূচক এবং কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে কিনা তা যাচাই করা হয়।

(৯) বৈজ্ঞানিক গবেষণা এবং পরীক্ষাগার পরিমাপ

বিশ্ববিদ্যালয়, গবেষণা প্রতিষ্ঠান এবং অর্ধপরিবাহী পরীক্ষাগারগুলি অপটিক্যাল সিস্টেম ক্যালিব্রেশন, মাইক্রো / ন্যানো স্কেল পরিমাপ,এবং পরীক্ষামূলক সরঞ্জাম সঠিকতা যাচাই.