वेफर कैलिब्रेशन बोर्ड वेफर निगरानी कैलिब्रेशन लक्ष्य

एक वेफर कैलिब्रेशन बोर्ड सेमीकंडक्टर वेफर निरीक्षण, माप और विजन पोजिशनिंग सिस्टम में उपयोग किया जाने वाला एक उच्च-सटीकता संदर्भ उपकरण है। यह सब्सट्रेट पर सटीक रूप से कैलिब्रेटेड मानक पैटर्न बनाकर उपकरणों के लिए विश्वसनीय ज्यामितीय आयाम, स्थिति, कोण, समतलता और ऑप्टिकल पैरामीटर संदर्भ प्रदान करता है। सीधे शब्दों में कहें, वेफर कैलिब्रेशन बोर्ड सेमीकंडक्टर उपकरणों के लिए "मानक शासक" और "संदर्भ समन्वय प्रणाली" के बराबर है। उपकरण कैलिब्रेशन बोर्ड पर ज्ञात और सटीक मानक पैटर्न को मापता है, वास्तविक माप परिणामों की तुलना मानक मानों से करता है, जिससे उपकरण की त्रुटियों को ठीक किया जाता है और माप और पोजिशनिंग सटीकता में सुधार होता है।

1. सामान्य संरचनाएं

वेफर कैलिब्रेशन बोर्ड आमतौर पर सिलिकॉन वेफर, ग्लास, क्वार्ट्ज या अन्य अत्यधिक स्थिर सब्सट्रेट का उपयोग करते हैं जिनमें सटीक पैटर्न वाली सतहें होती हैं। आवेदन के आधार पर, इसमें शामिल हैं:

(1) उच्च-सटीकता क्रॉस/मार्क निशान

(2) मानक चौड़ाई और रिक्ति पैटर्न

(3) ग्रिड या सरणी संरचनाएं

(4) मानक आकार के पैटर्न जैसे वृत्त और वर्ग

(5) विभिन्न दिशाओं और पैमानों की परीक्षण संरचनाएं

(6) ऊंचाई/समतलता का पता लगाने के लिए संदर्भ क्षेत्र

2. मुख्य विशेषताएं

वेफर कैलिब्रेशन बोर्ड की मुख्य विशेषताओं को संक्षेप में इस प्रकार प्रस्तुत किया जा सकता है:

(1) उच्च सटीकता: कैलिब्रेशन बोर्ड पर पैटर्न के आयाम, रिक्ति और स्थिति को सटीक रूप से मशीन और मापा जाता है, जो एक स्थिर और विश्वसनीय मानक संदर्भ प्रदान करता है।

(2) उच्च स्थिरता:आमतौर पर सिलिकॉन, क्वार्ट्ज और ग्लास जैसी अच्छी आयामी स्थिरता वाली सामग्री का उपयोग किया जाता है, जो तापमान, आर्द्रता और दीर्घकालिक उपयोग के कारण होने वाले आयामी परिवर्तनों को कम कर सकती है।

(3) उच्च समतलता: Tसब्सट्रेट सतह में उच्च समतलता होती है, जो सूक्ष्म इमेजिंग, दृश्य निरीक्षण और ऊंचाई माप की सटीकता सुनिश्चित करने के लिए फायदेमंद है।

(4) पैटर्न मानकीकरण:उपकरण और आवेदन आवश्यकताओं के अनुसार विभिन्न प्रकार के मानक पैटर्न डिजाइन किए जा सकते हैं, जैसे संरेखण निशान, क्रॉस निशान, चौड़ाई/रिक्ति संरचनाएं, ग्रिड और सरणियाँ। (5) अच्छा दोहराव:कैलिब्रेशन बोर्ड के आयाम और पैटर्न अच्छा दोहराव प्रदर्शित करते हैं, जिससे यह बार-बार माप, सटीकता सत्यापन और दीर्घकालिक बहाव निगरानी के लिए उपयुक्त होता है।

(6) व्यापक प्रयोज्यता: इसका उपयोग वेफर निरीक्षण, एओआई विजन सिस्टम, माइक्रोस्कोपिक माप, वेफर संरेखण, गति मंच पोजिशनिंग और ऑप्टिकल सिस्टम कैलिब्रेशन में किया जा सकता है।

(7) उच्च सतह गुणवत्ता: यह आमतौर पर ऑप्टिकल निरीक्षण परिणामों के साथ हस्तक्षेप को कम करने के लिए कम सतह खुरदरापन और कम दोष और कणों की आवश्यकता होती है।

(8) अनुकूलन योग्य: वेफर आकार, उपकरण सटीकता, निरीक्षण आवर्धन और कैलिब्रेशन आइटम के अनुसार पैटर्न आकार, लेआउट, सामग्री और सटीकता स्तर को अनुकूलित किया जा सकता है।

3. वेफर कैलिब्रेशन बोर्ड के मुख्य अनुप्रयोग क्षेत्र

वेफर कैलिब्रेशन बोर्ड मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर निर्माण, वेफर निरीक्षण, ऑप्टिकल माप और सटीक पोजिशनिंग में उपयोग किए जाते हैं, विशेष रूप से शामिल हैं:

(1) वेफर निरीक्षण उपकरण

वेफर दोष का पता लगाने, आयामी निरीक्षण और सतह निरीक्षण के लिए उपकरणों को कैलिब्रेट करने के लिए उपयोग किया जाता है, उपकरण के निरीक्षण सटीकता, दोहराव और स्थिरता को सत्यापित करता है।

(2) ऑप्टिकल माइक्रोस्कोपी माप

उपकरण के आवर्धन, पिक्सेल आकार, चौड़ाई और रिक्ति को कैलिब्रेट करने के लिए माइक्रोस्कोप, ऑप्टिकल मापने वाले उपकरण, सीडी-एसईएम सहायक प्रणालियों आदि पर लागू किया जाता है।

(3) वेफर संरेखण और पोजिशनिंग

वेफर संरेखण प्रणालियों, विजन पोजिशनिंग सिस्टम और गति प्लेटफार्मों में उपयोग किया जाता है, मानक निशान और अन्य ग्राफिक्स के माध्यम से सटीक समन्वय संदर्भ स्थापित करके वेफर पोजिशनिंग सटीकता में सुधार किया जाता है।

(4) फोटोलिथोग्राफी और एक्सपोजर उपकरण

एक्सपोजर उपकरण की संरेखण सटीकता, पैटर्न स्थिति सटीकता और इमेजिंग प्रभाव को सत्यापित करने के लिए उपयोग किया जाता है, उपकरण डिबगिंग और प्रदर्शन सत्यापन में सहायता करता है।

(5) सेमीकंडक्टर प्रक्रिया निरीक्षण

फोटोलिथोग्राफी, एचिंग और पतली फिल्म जमाव जैसी प्रक्रियाओं के बाद पैटर्न निरीक्षण के लिए उपयोग किया जाता है, मानक संरचनाओं के माध्यम से चौड़ाई, रिक्ति और पैटर्न आकृति विज्ञान को सत्यापित करता है।

(6) स्वचालित ऑप्टिकल निरीक्षण (एओआई) सिस्टम

सटीक निरीक्षण आयामों और स्थितियों को सुनिश्चित करते हुए कैमरों, लेंसों, प्रकाश स्रोतों और छवि एल्गोरिदम को कैलिब्रेट करने के लिए वेफर एओआई और मशीन विजन सिस्टम में एक मानक संदर्भ के रूप में उपयोग किया जाता है।

(7) सटीक गति मंच

एक्स/वाई/जेड अक्ष गति सटीकता, दोहराव और समन्वय प्रणाली को कैलिब्रेट करने के लिए वेफर हैंडलिंग, निरीक्षण और प्रसंस्करण उपकरणों में उपयोग किया जाता है।

(8) उपकरण आर एंड डी और स्वीकृति

यह सत्यापित करने के लिए कि क्या उपकरण निर्दिष्ट सटीकता संकेतकों और प्रदर्शन आवश्यकताओं को पूरा करता है, सेमीकंडक्टर उपकरण आर एंड डी, स्थापना, कमीशनिंग और फैक्ट्री स्वीकृति के दौरान उपयोग किया जाता है।

(9) वैज्ञानिक अनुसंधान और प्रयोगशाला मेट्रोलॉजी

विश्वविद्यालय, अनुसंधान संस्थान और सेमीकंडक्टर प्रयोगशालाएं ऑप्टिकल सिस्टम कैलिब्रेशन, माइक्रो/नैनो-स्केल माप और प्रयोगात्मक उपकरणों की सटीकता सत्यापन के लिए वेफर कैलिब्रेशन बोर्ड का उपयोग कर सकती हैं।