บอร์ดปรับระดับวอลเฟอร์ เป้าหมายปรับระดับการติดตามวอลเฟอร์

บอร์ดปรับระดับแผ่นคืออุปกรณ์อ้างอิงความละเอียดสูงที่ใช้ในระบบตรวจสอบ, การวัดและการตั้งตําแหน่งสายตาของแผ่นครึ่งพัดตําแหน่ง, มุม, ความเรียบ และพารามิเตอร์ออปติกส์สําหรับอุปกรณ์โดยการผลิตรูปแบบมาตรฐานที่มีการปรับขนาดอย่างแม่นยําบนพื้นฐานบอร์ดปรับระดับแผ่นเทียมเท่ากับ "เส้นชี้ระดับมาตรฐาน" และ "ระบบพิกัดอ้างอิง" สําหรับอุปกรณ์ครึ่งประสาทอุปกรณ์วัดรูปแบบมาตรฐานที่ทราบและแม่นยําบนบอร์ดการปรับโดยแก้ไขความผิดพลาดของอุปกรณ์ และปรับปรุงความแม่นยําในการวัดและการตั้งตําแหน่ง.

1โครงสร้างร่วม

บอร์ดปรับระดับแผ่นสล็อตมักใช้แผ่นสล็อตซิลิคอน, แก้ว, ควาร์ตซ์, หรือพื้นฐานที่มั่นคงสูงอื่น ๆ ที่มีพื้นผิวที่มีรูปแบบแม่นยํา. ขึ้นอยู่กับการใช้งาน, มันรวมถึง:

(1) การตราสี่/ตราสี่ความละเอียดสูง

(2) ลักษณะความกว้างเส้นและระยะระหว่างแบบมาตรฐาน

(3) โครงสร้างเกรดหรือเรท

(4) รูปแบบขนาดธรรมดา เช่น วงกลมและสี่เหลี่ยม

(5) โครงสร้างการทดสอบในทิศทางและขนาดที่แตกต่างกัน

(6) พื้นที่อ้างอิงสําหรับการตรวจสอบความสูง / ความราบ

2. ลักษณะหลัก

ลักษณะหลักของแผ่นปรับขนาดแผ่นสามารถสรุปได้ดังนี้:

(1) ความแม่นยําสูงขนาด, ระยะห่าง, และตําแหน่งของรูปแบบบนแผ่นการปรับขนาดถูกแปรรูปและวัดอย่างแม่นยํา, ให้มาตรฐานมาตรฐานที่มั่นคงและน่าเชื่อถือ

(2) ความมั่นคงสูงวัสดุที่มีความมั่นคงด้านมิติที่ดี เช่น ซิลิคอน, ควาร์ตซ์ และแก้ว มักจะใช้ ซึ่งสามารถลดการเปลี่ยนแปลงด้านมิติที่เกิดจากอุณหภูมิ, ความชื้น และการใช้งานระยะยาว

(3) ความเรียบสูง: Tพื้นผิวของพื้นฐานมีความราบเรียบสูง ซึ่งเป็นประโยชน์ในการรับประกันความแม่นยําของการถ่ายภาพด้วยกล้องจุลินทรีย์ การตรวจสอบทางสายตา และการวัดความสูง

(4) การจัดมาตรฐานรูปแบบ:รูปแบบมาตรฐานหลายชนิดสามารถออกแบบได้ตามความต้องการของอุปกรณ์และการใช้งาน เช่น สัญลักษณ์การสอดคล้อง สัญลักษณ์ข้าม สารก่อสร้างความกว้างของเส้น / ระยะห่าง, เครือข่ายและ arrays(5) สามารถซ้ําได้ดี:ขนาดและรูปแบบของแผ่นการปรับระดับแสดงความซ้ําได้ดี ทําให้มันเหมาะสําหรับการวัดซ้ํา, การตรวจสอบความแม่นยํา, และการติดตามการเคลื่อนไหวระยะยาว

(6) การใช้งานที่กว้างขวาง:สามารถใช้ในการตรวจสอบแผ่นแผ่น, ระบบการมองเห็น AOI, การวัดด้วยกล้องจุลินทรีย์, การจัดอันดับแผ่นแผ่น, การตั้งตําแหน่งแพลตฟอร์มการเคลื่อนไหว, และการปรับขนาดระบบออปติก.

(7) คุณภาพพื้นที่สูงปกติต้องการความหยาบผิวที่ต่ํา และมีอาการบกพร่องและอนุภาคน้อยกว่า เพื่อลดการแทรกแซงกับผลการตรวจสอบทางแสงสว่างให้น้อยที่สุด

(8) สามารถปรับแต่งได้:ขนาดรูปแบบ, ลายวาง, วัสดุ, และระดับความแม่นยําสามารถปรับแต่งได้ตามขนาดของวอฟเฟอร์, ความแม่นยําของอุปกรณ์, การปรับขนาดการตรวจสอบ, และรายการการปรับขนาด.

3พื้นที่ใช้งานหลักของบอร์ดปรับระดับแผ่น

บอร์ดปรับระดับแผ่นขนาบใช้เป็นหลักในการผลิตครึ่งตัวนํา, การตรวจสอบแผ่นขนาบ, การวัดแสงและการตั้งตําแหน่งความแม่นยํา โดยเฉพาะอย่างยิ่งรวมถึง:

(1) อุปกรณ์ตรวจสอบแผ่น

ใช้ในการปรับระดับอุปกรณ์สําหรับการตรวจหาความบกพร่องของแผ่น, การตรวจสอบมิติ, และการตรวจสอบพื้นผิว, การตรวจสอบความแม่นยําการตรวจสอบของอุปกรณ์, การซ้ําและความมั่นคง

(2) การวัดด้วยกล้องจุลินทรีย์แสง

ใช้ในกล้องจุลทรรศน์ เครื่องวัดแสง ระบบช่วย CD-SEM เป็นต้น เพื่อปรับขนาดขนาด, ขนาดพิกเซล, ความกว้างเส้น และระยะของอุปกรณ์

(3) การสอดคล้องและการตั้งตําแหน่งของแผ่น

ใช้ในระบบการจัดสรรแผ่น, ระบบการตั้งตําแหน่งสายตา, และแพลตฟอร์มการเคลื่อนไหวการกําหนดสอดคล้องที่แม่นยําผ่านเครื่องหมายมาตรฐานและกราฟฟิกอื่น ๆ เพื่อปรับปรุงความแม่นยําในการตั้งตําแหน่งของโวฟเฟอร์.

(4) อุปกรณ์การถ่ายภาพและการฉายแสง

ใช้ในการตรวจสอบความแม่นยําของการจัดอันดับ, ความแม่นยําตําแหน่งรูปแบบ, และผลการถ่ายภาพของอุปกรณ์การเผยแพร่, ช่วยในการแก้ไขอุปกรณ์และการตรวจสอบการทํางาน

(5) การตรวจสอบกระบวนการครึ่งตัวนํา

ใช้สําหรับการตรวจสอบรูปแบบหลังจากกระบวนการ เช่น โฟโตลิโตกราฟี, การถัก, และการฝากหนังบาง, การตรวจสอบความกว้างเส้น, ระยะห่าง, และรูปแบบมอร์ฟอลิเจีย ผ่านโครงสร้างมาตรฐาน

(6) ระบบตรวจสอบทางแสงอัตโนมัติ (AOI)

ใช้เป็นมาตรฐานของการอ้างอิงในระบบ AOI และระบบมองเห็นด้วยเครื่องจักรเพื่อปรับขนาดกล้อง, เลนส์, แหล่งแสง และอัลการิธึมภาพ, รับประกันขนาดและตําแหน่งการตรวจสอบที่แม่นยํา

(7) พลาตฟอร์มการเคลื่อนไหวแม่นยํา

ใช้ในอุปกรณ์การจัดการ, การตรวจสอบและการประมวลผลของวอล์ฟเพื่อปรับระดับความแม่นยําการเคลื่อนไหวแกน X/Y/Z, ความซ้ําและระบบพิกัด

(8) R & D อุปกรณ์และการยอมรับ

ใช้ระหว่างการ R&D ของอุปกรณ์ครึ่งประสาท, การติดตั้ง, การใช้งาน, และการรับรองโรงงานเพื่อตรวจสอบว่าอุปกรณ์ตรงกับตัวชี้วัดความแม่นยําและความต้องการการทํางานที่กําหนด

(9) การวิจัยวิทยาศาสตร์และการวัดห้องปฏิบัติการ

มหาวิทยาลัย สถาบันวิจัย และห้องปฏิบัติการครึ่งตัวนํา สามารถใช้แผ่นปรับระดับแผ่นสําหรับปรับระดับระบบออปติกส์ การวัดขนาดไมโคร / นาโนและการตรวจสอบความแม่นยําของอุปกรณ์ทดลอง.