Калибровочная плата пластины Калибровочная мишень для мониторинга пластины

Калибровочная пластина для полупроводниковых пластин — это высокоточный эталонный прибор, используемый в системах инспекции, измерения и оптического позиционирования полупроводниковых пластин. Он обеспечивает надежные геометрические размеры, положения, углы, плоскостность и эталоны оптических параметров для оборудования путем изготовления точно откалиброванных стандартных шаблонов на подложке. Проще говоря, калибровочная пластина для полупроводниковых пластин эквивалентна «стандартной линейке» и «эталонной системе координат» для полупроводникового оборудования. Оборудование измеряет известные и точные стандартные шаблоны на калибровочной пластине, сравнивает фактические результаты измерений со стандартными значениями, тем самым корректируя ошибки оборудования и повышая точность измерений и позиционирования.

1. Общие структуры

В калибровочных пластинах для полупроводниковых пластин обычно используются кремниевые пластины, стекло, кварц или другие высокостабильные подложки с точно нанесенными поверхностными шаблонами. В зависимости от применения они включают:

(1) Высокоточные перекрестия/маркеры

(2) Стандартные шаблоны ширины линии и расстояния

(3) Сетчатые или массивовые структуры

(4) Шаблоны стандартного размера, такие как круги и квадраты

(5) Тестовые структуры различных направлений и масштабов

(6) Эталонные области для обнаружения высоты/плоскостности

2. Основные характеристики

Основные характеристики калибровочных пластин для полупроводниковых пластин можно обобщить следующим образом:

(1) Высокая точность: Размеры, расстояния и положения шаблонов на калибровочной пластине точно обработаны и измерены, обеспечивая стабильный и надежный эталон.

(2) Высокая стабильность: Обычно используются материалы с хорошей стабильностью размеров, такие как кремний, кварц и стекло, которые могут уменьшить изменения размеров, вызванные температурой, влажностью и длительным использованием.

(3) Высокая плоскостность: Поверхность подложки обладает высокой плоскостностью, что способствует обеспечению точности микроскопического изображения, визуального осмотра и измерения высоты.

(4) Стандартизация шаблонов: Различные типы стандартных шаблонов могут быть разработаны в соответствии с требованиями оборудования и применения, такие как установочные метки, перекрестия, структуры ширины линии/расстояния, сетки и массивы.(5) Хорошая повторяемость: Размеры и шаблоны калибровочной пластины демонстрируют хорошую повторяемость, что делает ее пригодной для повторных измерений, проверки точности и мониторинга долгосрочного дрейфа.

(6) Широкая применимость: Может использоваться при инспекции пластин, системах машинного зрения AOI, микроскопических измерениях, выравнивании пластин, позиционировании подвижных платформ и калибровке оптических систем.

(7) Высокое качество поверхности: Обычно требуется низкая шероховатость поверхности и меньше дефектов и частиц, чтобы минимизировать помехи для результатов оптической инспекции.

(8) Индивидуализация: Размер шаблона, компоновка, материалы и уровень точности могут быть настроены в соответствии с размером пластины, точностью оборудования, увеличением инспекции и элементами калибровки.

3. Основные области применения калибровочных пластин для полупроводниковых пластин

Калибровочные пластины для полупроводниковых пластин в основном используются в производстве полупроводников, инспекции пластин, оптических измерениях и точном позиционировании, в частности, включая:

(1) Оборудование для инспекции пластин

Используется для калибровки оборудования для обнаружения дефектов пластин, проверки размеров и инспекции поверхности, проверки точности, повторяемости и стабильности инспекции оборудования.

(2) Измерение с помощью оптической микроскопии

Применяется для микроскопов, оптических измерительных приборов, вспомогательных систем CD-SEM и т. д. для калибровки увеличения, размера пикселя, ширины линии и расстояния оборудования.

(3) Выравнивание и позиционирование пластин

Используется в системах выравнивания пластин, системах оптического позиционирования и подвижных платформах, устанавливая точные эталоны координат с помощью стандартных меток и других графических элементов для повышения точности позиционирования пластин.

(4) Оборудование для фотолитографии и экспонирования

Используется для проверки точности выравнивания, точности положения шаблона и эффекта изображения экспонирующего оборудования, помогая в отладке оборудования и проверке производительности.

(5) Инспекция полупроводниковых процессов

Используется для инспекции шаблонов после таких процессов, как фотолитография, травление и осаждение тонких пленок, проверяя ширину линии, расстояние и морфологию шаблона с помощью стандартных структур.

(6) Системы автоматизированной оптической инспекции (AOI)

Используется в качестве эталонного стандарта в системах AOI пластин и машинного зрения для калибровки камер, объективов, источников света и алгоритмов обработки изображений, обеспечивая точные размеры и положения инспекции.

(7) Прецизионная подвижная платформа

Используется в оборудовании для обработки, инспекции и обработки пластин для калибровки точности движения по осям X/Y/Z, повторяемости и системы координат.

(8) Разработка и приемка оборудования

Используется во время разработки, установки, ввода в эксплуатацию и заводской приемки полупроводникового оборудования для проверки соответствия оборудования установленным показателям точности и требованиям к производительности.

(9) Научные исследования и лабораторная метрология

Университеты, научно-исследовательские институты и лаборатории полупроводников могут использовать калибровочные пластины для полупроводниковых пластин для калибровки оптических систем, измерений в микро/нанодиапазоне и проверки точности экспериментального оборудования.