उच्च परिशुद्धता क्वार्ट्ज ग्लास रेटिकल फोटोलिथोग्राफी रेटिकल
उच्च परिशुद्धता ग्लास रेटिकल
,क्वार्ट्ज ग्लास रेटिकल
,ग्लास फोटोलिथोग्राफी रेटिकल
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पैरामीटर जानकारी |
सामान्य परिशुद्धता |
उच्च परिशुद्धता |
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सामग्री |
सोडा ग्लास/क्वार्ट्ज ग्लास/अनुकूलित |
क्वार्ट्ज ग्लास |
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अधिकतम बाहरी आयाम |
मोटाई संबंधित/228.6*228.6mm |
127*127mm |
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न्यूनतम बाहरी आयाम |
1*1mm |
2*2mm |
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अधिकतम पैटर्न आकार |
मोटाई संबंधित 218.6*218.6/280*280mm |
121*121mm |
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समतलता |
आकार संबंधित/पारंपरिक 10 μm |
आकार संबंधित |
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घनत्व मान |
पीला क्रोमियम और उज्ज्वल क्रोमियम आम तौर पर ≥ 3.0/अधिकतम ≥ 6.0 है; नीला क्रोमियम ≥ 5.0 |
/ |
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मोटाई (अनुकूलित) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2/2.3/3mm |
2.3mm |
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स्थिति सटीकता |
पारंपरिक 2 μm/अधिकतम 1 μm |
0.5μm |
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लाइन चौड़ाई सटीकता |
पारंपरिक 0.2 μm/अधिकतम 0.1 μm |
0.05μm |
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न्यूनतम लाइन चौड़ाई |
पारंपरिक 2 μm/अधिकतम 1 μm |
0.5μm |
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न्यूनतम व्यास |
पारंपरिक 2 μm/अधिकतम 1 μm |
0.5μm |