Фотолитографическая маска из кварцевого стекла высокой точности
Стеклянная маска высокой точности
,Маска из кварцевого стекла
,Стеклянная фотолитографическая маска
|
Информация о параметрах |
обычная точность |
высокая точность |
|
Материал |
Стекло содовое/кварцевое/на заказ |
Кварцевое стекло |
|
Максимальные внешние размеры |
Относительно толщины/228,6*228,6 мм |
127*127 мм |
|
Минимальные внешние размеры |
1*1 мм |
2*2 мм |
|
Максимальный размер шаблона |
Относительно толщины 218.6*218.6/280*280 мм |
121*121 мм |
|
Плоскость |
Относительно размера/традиционный 10 мкм |
Относительно размера |
|
Значение плотности |
Желтый хром и яркий хром, как правило, ≥ 3,0/максимум ≥ 6.0; Синий хром ≥ 5.0 |
/ |
|
Толщина (настраивается) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2.3/3 мм |
20,3 мм |
|
Точность позиции |
Обычные 2 мкм/максимум 1 мкм |
0.5 мкм |
|
Точность ширины линии |
Обычный 0,2 мкм/максимум 0,1 мкм |
00,05 мкм |
|
Минимальная ширина линии |
Обычные 2 мкм/максимум 1 мкм |
0.5 мкм |
|
Минимальный диаметр |
Обычные 2 мкм/максимум 1 мкм |
0.5 мкм |