شبكية دقيقة عالية الدقة من الكوارتز الضوئي
شبكة زجاجية عالية الدقة
,شبكة زجاجية كوارتز
,شبكة زجاجية للفوتو ليتوغرافيا
2الهيكل الأساسي والمواد
(1) نمط الدوائر المركزية (عادة ما تكون مصحوبة بالشفرات) عادة ما يتم إنشاؤها على سطح رصيف بصري شفاف (مثل الزجاج البصري ، الكوارتز ، إلخ).) باستخدام طلاء فراغ (مثل فيلم الكروم عالي الانعكاس) أو التصوير الضوئي.
(2) التصميم الإرسالي: هذا يعني أنه يعمل بشكل أساسي في مسار الضوء الإرسالي ، مما يسمح للضوء بالمرور عبر المنطقة الشفافة للتصوير. اعتمادا على العملية ،يمكن تقسيمها إلى شبكات إيجابية (النمط نفسه هو طبقة كرومية غير شفافة) وشبكات سلبية (يتم ترك منطقة النمط مفتوحة لنقل الضوء، في حين أن الباقي مغلفة).
(3) مواصفات الحجم: الحلقات عادة ما يكون لها فاصل قطر ثابت (على سبيل المثال، 0.5 ملم، 1 ملم، وما إلى ذلك لكل مستوى) وترقيم أو لديها عبارة مركزية للمساعدة في محاذاة.
3سيناريوهات التطبيق الرئيسية
(1) معايرة نظام المجهر:معايرة سريعة لمطابقة التكبير بعد تغيير الأهداف وتصحيح انحرافات قراءة القياس هي أداة معايرة شائعة الاستخدام للاختبارات المعملية الروتينية.
(2) محاذاة النظام البصري:يعمل كهدف لتحديد محور الشعاع، مما يساعد في تعديل محورية مسار الليزر البصري ويقرر بسرعة ما إذا كان الشعاع يتزامن مع مركز المحور البصري للنظام.
(3) معايرة الرؤية الصناعية:تستخدم لتصحيح تشويه الكاميرا الشعاعي ، وتوفير مراجع تحديد المواقع على مستوى البكسلات الفرعية ، وتطبق على نطاق واسع في الكشف عن عيوب رقائق أشباه الموصلات ، وقياس إحداثيات ثقوب لوح PCB ،والسيناريوهات الأخرى.
(4) دعم الأداة البصرية الدقيقة:يتم تثبيتها على مستوى الصورة للمشاهد والتلسكوبات ، مما يساعد في محاذاة مركز الهدف وقياس الانحراف الزاوي.
4.معلومات عن المعلم الرئيسي
|
معلومات المعلمات |
الدقة العادية |
دقة عالية |
|
المواد |
زجاج الصودا / زجاج الكوارتز / مخصص |
زجاج الكوارتز |
|
أقصى أبعاد خارجية |
السماكة المتعلقة/228.6*228.6mm |
127*127ملم |
|
الحد الأدنى للأبعاد الخارجية |
1*1ملم |
2*2ملم |
|
الحد الأقصى لحجم النمط |
الخصائص ذات الصلة بالسمك 218.6*218.6/280*280ملم |
121*121ملم |
|
مسطحة |
10 ميكرومترات متعلقة بالحجم / تقليدية |
متعلقة بالحجم |
|
قيمة الكثافة |
الكروم الأصفر والكروم الساطع عموما ≥ 3.0/حد أقصى ≥ 6.0; الكروم الأزرق ≥ 5.0 |
/ |
|
سمك (يمكن تخصيصه) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2.3/3ملم |
2.3ملم |
|
دقة الموقع |
2 ميكرومترات تقليدية/حد أقصى 1 ميكرومترات |
0.5μm |
|
دقة عرض الخط |
0.2 ميكرو متراً تقليدياً/أقصى 0.1 ميكرو متراً |
0.05 ميكرومتر |
|
الحد الأدنى لعرض الخط |
2 ميكرومترات تقليدية/حد أقصى 1 ميكرومترات |
0.5μm |
|
الحد الأدنى للقطر |
2 ميكرومترات تقليدية/حد أقصى 1 ميكرومترات |
0.5μm |