Hochpräzise Quarzglasreticle Fotolithographie Reticle
Hochpräzise Glasreticel
,Quarzglasreticel
,Glasphotolithographie Reticle
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Parameterinformationen |
gewöhnliche Präzision |
hohe Präzision |
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Material |
Sodaglas/Quarzglas/auf maßgeschneiderte Weise |
aus Quarzglas |
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Maximale Außenabmessungen |
Stärkebezogen: 228,6*228,6 mm |
127*127mm |
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Mindestgröße der Außenfläche |
1*1 mm |
2*2 mm |
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Maximale Mustergröße |
Stärkebezogen 218.6*218.6/280*280mm |
121*121mm |
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Flachheit |
Größenbezogen/konventionell 10 μm |
Größenbezogen |
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Dichtewert |
Gelbes Chrom und helles Chrom sind im Allgemeinen ≥ 3,0/höchstens ≥ 6.0; Blaues Chrom ≥ 5.0 |
/ |
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Stärke (anpassbar) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2.3/3 mm |
2.3 mm |
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Positionsgenauigkeit |
Herkömmliche 2 μm/höchstens 1 μm |
0.5 μm |
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Genauigkeit der Linienbreite |
Herkömmliche 0,2 μm/höchstens 0,1 μm |
00,05 μm |
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Mindestlinienbreite |
Herkömmliche 2 μm/höchstens 1 μm |
0.5 μm |
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Mindestdurchmesser |
Herkömmliche 2 μm/höchstens 1 μm |
0.5 μm |