Retícula de fotolitografía de vidrio de cuarzo de alta precisión
Retícula de vidrio de alta precisión
,Retícula de vidrio de cuarzo
,Retícula de fotolitografía de vidrio
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Información de parámetros |
precisión ordinaria |
alta precisión |
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Material |
Vidrio de sosa/vidrio de cuarzo/personalizado |
Vidrio de cuarzo |
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Dimensiones externas máximas |
Relacionado con el grosor/228.6*228.6mm |
127*127mm |
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Dimensiones externas mínimas |
1*1mm |
2*2mm |
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Tamaño máximo del patrón |
Relacionado con el grosor 218.6*218.6/280*280mm |
121*121mm |
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Planitud |
Relacionado con el tamaño/convencional 10 μm |
Relacionado con el tamaño |
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Valor de densidad |
El cromo amarillo y el cromo brillante son generalmente ≥ 3.0/máximo ≥ 6.0; Cromo azul ≥ 5.0 |
/ |
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Grosor (personalizable) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2/2.3/3mm |
2.3mm |
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Precisión de posición |
Convencional 2 μm/máximo 1 μm |
0.5μm |
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Precisión del ancho de línea |
Convencional 0.2 μm/máximo 0.1 μm |
0.05μm |
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Ancho de línea mínimo |
Convencional 2 μm/máximo 1 μm |
0.5μm |
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Diámetro mínimo |
Convencional 2 μm/máximo 1 μm |
0.5μm |