Retícula de fotolitografía de vidrio de cuarzo de alta precisión

2. Estructura y materiales básicos

(1) Los patrones de círculos concéntricos (generalmente acompañados de retículas) se crean típicamente en la superficie de un sustrato óptico transparente (como vidrio óptico, cuarzo, etc.) utilizando recubrimiento al vacío (como una película de cromo de alta reflectividad) o fotolitografía.

(2) Diseño Transmisivo: Esto significa que opera principalmente en la trayectoria de la luz de transmisión, permitiendo que la luz pase a través del área transparente para la formación de imágenes. Dependiendo del proceso, se puede dividir en retículos positivos (el patrón en sí es una capa de cromo opaca) y retículos negativos (el área del patrón se deja abierta para la transmisión de luz, mientras que el resto está recubierto).

(3) Especificaciones de tamaño: Los anillos suelen tener espaciado de diámetro fijo (por ejemplo, 0,5 mm, 1 mm, etc. por nivel) y están numerados o tienen una retícula central para ayudar a la alineación.

3. Escenarios de aplicación principales

(1) Calibración del sistema de microscopio: Calibrar rápidamente la correspondencia de magnificación después de cambiar los objetivos y corregir las desviaciones de lectura de las mediciones es una herramienta de calibración comúnmente utilizada para pruebas de laboratorio de rutina.

(2) Alineación del sistema óptico: Sirve como objetivo de colimación de haz, ayudando en el ajuste de la coaxialidad de la trayectoria óptica del láser y determinando rápidamente si el haz coincide con el centro del eje óptico del sistema.

(3) Calibración de visión industrial: Se utiliza para la corrección de la distorsión radial de la cámara, proporcionando referencias de posicionamiento a nivel de subpíxel, ampliamente aplicado en la detección de defectos de obleas de semiconductores, medición de coordenadas de orificios de placas PCB y otros escenarios.

(4) Soporte de instrumentos ópticos de precisión: Instalado en el plano de imagen de miras y telescopios, ayudando en la alineación del centro del objetivo y la medición de la desviación angular.

4.Información de parámetros principales