ریتول شیشه ای کوارتز با دقت بالا ریتول عکاسی
شبكه هاي شيشه اي با دقت بالا
,گلاس کوارتز
,عکس لیتوگرافی شیشه ای Reticle
2ساختار اساسی و مواد
(1) الگوهای دایره ای متمرکز (معمولاً همراه با تقاطع) به طور معمول بر روی سطح یک بستر نوری شفاف (مانند شیشه نوری، کوارتز و غیره) ایجاد می شوند.) با استفاده از پوشش خلاء (مانند یک فیلم کرومی با بازتاب بالا) یا فوتولیتوگرافی.
(2) طراحی انتقالی: این بدان معنی است که عمدتاً در مسیر انتقال نور عمل می کند و اجازه می دهد تا نور از طریق منطقه شفاف برای تصویربرداری عبور کند.آن را می توان به reticles مثبت (نموذج خود را یک لایه کروم نامرئی است) و reticles منفی (مناطق الگوی باز برای انتقال نور باقی می ماند) تقسیم، در حالی که بقیه پوشش داده شده است).
(3) مشخصات اندازه: حلقه ها معمولاً دارای فاصله قطر ثابت هستند (به عنوان مثال، 0.5 میلی متر، 1 میلی متر و غیره در هر سطح) و شماره گذاری شده اند یا دارای یک کشش مرکزی برای کمک به تراز شدن هستند.
3سناریوهای کاربرد اصلی
(1) کالیبراسیون سیستم میکروسکوپ:کالیبراسیون سریع مطابقت بزرگنمایی پس از تغییر اهداف و تصحیح انحرافات خواندن اندازه گیری یک ابزار کالیبراسیون معمول برای آزمایش های آزمایشگاهی است.
(2) تراز سیستم نوری:به عنوان یک هدف همبستگی پرتو عمل می کند، به تنظیم همبستگی مسیر نوری لیزر کمک می کند و به سرعت تعیین می کند که آیا پرتو با مرکز محور نوری سیستم همپوشانی می کند.
(3) کالیبراسیون بینایی صنعتی:استفاده می شود برای تصحیح انحراف شعاعی دوربین، ارائه مرجع موقعیت گذاری در سطح زیر پیکسل، به طور گسترده ای در تشخیص نقص وافره نیمه هادی، اندازه گیری مختصات سوراخ صفحه PCB،و سایر سناریوها.
(4) پشتیبانی از ابزار نوری دقیق:نصب شده در سطح تصویر منظره ها و تلسکوپ ها، کمک به تراز مرکز هدف و اندازه گیری انحراف زاویه ای.
4.اطلاعات پارامتر اصلی
|
اطلاعات پارامتر |
دقت عادی |
دقت بالا |
|
مواد |
شیشه سودا/گلاس کوارتز/تخصیص |
شیشه کوارتز |
|
حداکثر ابعاد بیرونی |
ضخامت مرتبط/228.6*228.6mm |
۱۲۷*۱۲۷ میلی متر |
|
حداقل ابعاد بیرونی |
1*1mm |
2*2 میلی متر |
|
حداکثر اندازه الگوی |
مربوط به ضخامت 218.6*218.6/280*280 میلی متر |
۱۲۱*۱۲۱ میلی متر |
|
سطح |
اندازه مرتبط/معمولی 10 μm |
مربوط به اندازه |
|
ارزش تراکم |
کروم زرد و کروم روشن به طور کلی ≥ 3.0/حداکثر ≥ 6 هستند.0; کروم آبی ≥ 50 |
/ |
|
ضخامت (قابل تنظیم) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2.3/3mm |
2.3 میلی متر |
|
دقت موقعیت |
2 μm/حداکثر 1 μm |
0.5μm |
|
دقت عرض خط |
0.2 μm/حداکثر 0.1 μm |
0.05μm |
|
حداقل عرض خط |
2 μm/حداکثر 1 μm |
0.5μm |
|
حداقل قطر |
2 μm/حداکثر 1 μm |
0.5μm |