Reticle Fotolitografi Kaca Kuarsa Presisi Tinggi
Reticle Kaca Presisi Tinggi
,Reticle Kaca Kuarsa
,Reticle Fotolitografi Kaca
|
Informasi Parameter |
Keakuratan biasa |
presisi tinggi |
|
Bahan |
Kaca soda/kaca kuarsa/disesuaikan |
Kaca Kuarsa |
|
Dimensi Eksternal Maksimal |
Ketebalan relatif/228.6*228.6mm |
127*127mm |
|
Dimensi eksternal minimum |
1*1mm |
2*2mm |
|
Ukuran Pola Maksimal |
Ketebalan terkait 218.6*218.6/280*280mm |
121*121mm |
|
Permukaan rata |
Ukuran terkait/konvensional 10 μ m |
Berkaitan ukuran |
|
Nilai kepadatan |
Kromium kuning dan kromium terang umumnya ≥ 3,0/maksimum ≥ 6.0; Blue chromium ≥ 5.0 |
/ |
|
Ketebalan (bisa disesuaikan) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2.3/3mm |
2.3mm |
|
Keakuratan Posisi |
2 μ m/maksimum 1 μ m konvensional |
0.5μm |
|
Keakuratan Lebar Garis |
Konvensional 0,2 μ m/maksimum 0,1 μ m |
00,05 μm |
|
Lebar Baris Minimal |
2 μ m/maksimum 1 μ m konvensional |
0.5μm |
|
Diameter Minimal |
2 μ m/maksimum 1 μ m konvensional |
0.5μm |