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Reticolo di vetro al quarzo ad alta precisione Reticolo di fotolitografia
Reticolo di vetro ad alta precisione
,Reticolo di vetro al quarzo
,Reticolo per fotolitografia in vetro
|
Informazioni sui parametri |
precisione ordinaria |
alta precisione |
|
Materiale |
Vetro sodico/vetro al quarzo/personalizzato |
Vetro al quarzo |
|
Dimensioni esterne massime |
Spessore correlato/228,6*228,6 mm |
127*127 mm |
|
Dimensioni esterne minime |
1*1 mm |
2*2 mm |
|
Dimensione massima del motivo |
Spessore correlato 218,6*218,6/280*280 mm |
121*121 mm |
|
Planarità |
Correlato alle dimensioni/convenzionale 10 µm |
Correlato alle dimensioni |
|
Valore di densità |
Il cromo giallo e il cromo brillante sono generalmente ≥ 3,0/massimo ≥ 6,0; Cromo blu ≥ 5,0 |
/ |
|
Spessore (personalizzabile) |
0,2/0,33/0,5/0,7/1/1,1/1,5/1,6/2/2,3/3 mm |
2,3 mm |
|
Precisione di posizionamento |
Convenzionale 2 µm/massimo 1 µm |
0,5 µm |
|
Precisione larghezza linea |
Convenzionale 0,2 µm/massimo 0,1 µm |
0,05 µm |
|
Larghezza minima della linea |
Convenzionale 2 µm/massimo 1 µm |
0,5 µm |
|
Diametro minimo |
Convenzionale 2 µm/massimo 1 µm |
0,5 µm |
Reticolo di vetro al quarzo ad alta precisione Reticolo di fotolitografia
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