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Reticule de photolithographie en verre de quartz de haute précision
Reticule en verre de haute précision
,Reticule en verre de quartz
,Reticule de photolithographie en verre
2- Structure de base et matériaux
(1) Les motifs de cercles concentriques (généralement accompagnés de traits) sont généralement créés sur la surface d'un substrat optique transparent (tel que le verre optique, le quartz, etc.).) en utilisant un revêtement sous vide (comme un film de chrome à haute réflectivité) ou une photolithographie.
(2) Conception transmise: cela signifie qu'il fonctionne principalement sur le chemin de transmission de la lumière, permettant à la lumière de traverser la zone transparente pour l'imagerie.il peut être divisé en réticles positifs (le motif lui-même est une couche de chrome opaque) et des réticles négatifs (la zone du motif est laissée ouverte pour la transmission de la lumière, tandis que le reste est recouvert).
(3) Spécifications de taille: Les anneaux ont généralement un diamètre fixe (par exemple, 0,5 mm, 1 mm, etc. par niveau) et sont numérotés ou disposent d'un croisement central pour faciliter leur alignement.
3Principaux scénarios d'application
(1) Étalonnage du système de microscope:L'étalonnage rapide de la correspondance de grossissement après changement d'objectif et la correction des écarts de lecture de mesure est un outil d'étalonnage couramment utilisé pour les essais de laboratoire de routine.
(2) Alignement du système optique:Il sert de cible de collimation du faisceau, aidant à régler la coaxialité du tracé optique laser et à déterminer rapidement si le faisceau coïncide avec le centre de l'axe optique du système.
(3) Étalonnage de la vision industrielle:Utilisé pour la correction de la distorsion radiale de la caméra, fournissant des références de positionnement au niveau des sous-pixels, largement utilisé dans la détection de défauts de plaques de semi-conducteurs, la mesure des coordonnées des trous des cartes PCB,et autres scénarios.
(4) Appui optique de précision:Installé sur le plan d'image des viseurs et des télescopes, il aide à l'alignement du centre de la cible et à la mesure de l'écart angulaire.
4.Informations sur les paramètres principaux
|
Informations sur les paramètres |
précision normale |
haute précision |
|
Matériel |
Verres à soude/verres à quartz/sur mesure |
Vitres au quartz |
|
Dimensions extérieures maximales |
L'épaisseur est liée/228,6*228,6 mm |
127*127 mm |
|
Dimensions extérieures minimales |
1*1 mm |
2*2 mm |
|
Taille maximale du motif |
Épaisseur liée 218.6*218.6/280*280 mm |
Pour les pièces détachées: |
|
Plateur |
10 μm selon la taille/conventionnelle |
En fonction de la taille |
|
Valeur de la densité |
Le chrome jaune et le chrome brillant sont généralement ≥ 3,0/maximum ≥ 6.0; chrome bleu ≥ 5.0 |
/ |
|
Épaisseur (personnalisable) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2.3/3 mm |
2.3 mm |
|
Précision de la position |
Conventionnel 2 μm/maximum 1 μm |
0.5 μm |
|
Précision de la largeur de ligne |
Conventionnel 0,2 μm/maximum 0,1 μm |
00,05 μm |
|
Largeur minimale de ligne |
Conventionnel 2 μm/maximum 1 μm |
0.5 μm |
|
Diamètre minimum |
Conventionnel 2 μm/maximum 1 μm |
0.5 μm |
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