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Reticule de photolithographie en verre de quartz de haute précision
Reticule en verre de haute précision
,Reticule en verre de quartz
,Reticule de photolithographie en verre
|
Informations sur les paramètres |
précision ordinaire |
haute précision |
|
Matériau |
Verre sodocalcique/verre de quartz/personnalisé |
Verre de quartz |
|
Dimensions externes maximales |
Lié à l'épaisseur/228,6*228,6 mm |
127*127 mm |
|
Dimensions externes minimales |
1*1 mm |
2*2 mm |
|
Taille maximale du motif |
Lié à l'épaisseur 218,6*218,6/280*280 mm |
121*121 mm |
|
Planéité |
Lié à la taille/conventionnel 10 µm |
Lié à la taille |
|
Valeur de densité |
Le chrome jaune et le chrome brillant sont généralement ≥ 3,0/maximum ≥ 6,0 ; Chrome bleu ≥ 5,0 |
/ |
|
Épaisseur (personnalisable) |
0,2/0,33/0,5/0,7/1/1,1/1,5/1,6/2/2,3/3 mm |
2,3 mm |
|
Précision de position |
Conventionnel 2 µm/maximum 1 µm |
0,5 µm |
|
Précision de la largeur de ligne |
Conventionnel 0,2 µm/maximum 0,1 µm |
0,05 µm |
|
Largeur de ligne minimale |
Conventionnel 2 µm/maximum 1 µm |
0,5 µm |
|
Diamètre minimum |
Conventionnel 2 µm/maximum 1 µm |
0,5 µm |
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