Wysokiej precyzji szklany retykel kwarcowy Retykel fotolitograficzny
Wysokiej precyzji szklane siatki
,Szklany kręg kwartowy
,Szklana fotolitografia Reticle
|
Informacje o parametrach |
zwykła precyzja |
wysoka precyzja |
|
Materiał |
Szkło sodowe/szkło kwarcowe/na zamówienie |
Szkło kwarcowe |
|
Maksymalne wymiary zewnętrzne |
W zależności od grubości/228,6*228,6 mm |
127*127 mm |
|
Minimalne wymiary zewnętrzne |
1*1 mm |
2*2 mm |
|
Maksymalny rozmiar wzoru |
W odniesieniu do grubości 218.6*218.6/280*280mm |
121*121mm |
|
Płaskość |
Zależne od wielkości/konwencjonalne 10 μm |
W zależności od wielkości |
|
Wartość gęstości |
Żółty chrom i jasny chrom są na ogół ≥ 3,0/maksymalnie ≥ 6.0; Niebieski chrom ≥ 5.0 |
/ |
|
Gęstość (przystosowana) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2.3/3mm |
20,3 mm |
|
Dokładność pozycji |
Konwencjonalne 2 μm/maksymalnie 1 μm |
00,5 μm |
|
Dokładność szerokości linii |
Konwencjonalne 0,2 μm/maksymalnie 0,1 μm |
00,05 μm |
|
Minimalna szerokość linii |
Konwencjonalne 2 μm/maksymalnie 1 μm |
00,5 μm |
|
Minimalna średnica |
Konwencjonalne 2 μm/maksymalnie 1 μm |
00,5 μm |