Wysokiej precyzji szklany retykel kwarcowy Retykel fotolitograficzny
Wysokiej precyzji szklane siatki
,Szklany kręg kwartowy
,Szklana fotolitografia Reticle
2. Podstawowa struktura i materiały
(1) Wzory koncentrycznych okręgów (zazwyczaj w połączeniu z krzyżami) są zazwyczaj tworzone na powierzchni przezroczystego podłoża optycznego (takiego jak szkło optyczne, kwarc itp.) za pomocą napylania próżniowego (np. warstwy chromu o wysokim współczynniku odbicia) lub fotolitografii.
(2) Konstrukcja transmisyjna: Oznacza to, że działa głównie w ścieżce światła transmisyjnego, pozwalając światłu przechodzić przez przezroczysty obszar do obrazowania. W zależności od procesu można je podzielić na siatki pozytywowe (sam wzór jest nieprzezroczystą warstwą chromu) i siatki negatywowe (obszar wzoru jest pozostawiony otwarty do transmisji światła, podczas gdy reszta jest pokryta).
(3) Specyfikacje rozmiaru: Pierścienie zazwyczaj mają stałe odstępy średnic (np. 0,5 mm, 1 mm itp. na poziom) i są ponumerowane lub posiadają centralny krzyż ułatwiający wyrównanie.
3. Główne scenariusze zastosowań
(1) Kalibracja systemu mikroskopowego:Szybka kalibracja korespondencji powiększenia po zmianie obiektywów i korekta odchyleń odczytu pomiarowego to powszechnie stosowane narzędzie kalibracyjne do rutynowych badań laboratoryjnych.
(2) Wyrównanie systemu optycznego:Służy jako cel kolimacji wiązki, pomagając w regulacji współosiowości laserowej ścieżki optycznej i szybkim określeniu, czy wiązka pokrywa się z centralną osią optyczną systemu.
(3) Kalibracja wizji przemysłowej:Używana do korekcji promieniowego zniekształcenia kamery, zapewniając referencje pozycjonowania na poziomie subpikselowym, szeroko stosowana w wykrywaniu defektów płytek półprzewodnikowych, pomiarze współrzędnych otworów płytek PCB i innych scenariuszach.
(4) Wsparcie precyzyjnych instrumentów optycznych:Instalowana na płaszczyźnie obrazu celowników i teleskopów, pomagając w wyrównaniu środka celu i pomiarze odchylenia kątowego.
4.Główne informacje o parametrach
|
Informacje o parametrach |
zwykła precyzja |
wysoka precyzja |
|
Materiał |
Szkło sodowe/szkło kwarcowe/na zamówienie |
Szkło kwarcowe |
|
Maksymalne wymiary zewnętrzne |
Zależne od grubości/228,6*228,6mm |
127*127mm |
|
Minimalne wymiary zewnętrzne |
1*1mm |
2*2mm |
|
Maksymalny rozmiar wzoru |
Zależny od grubości 218,6*218,6/280*280mm |
121*121mm |
|
Płaskość |
Zależna od rozmiaru/konwencjonalna 10 μm |
Zależna od rozmiaru |
|
Wartość gęstości |
Żółty chrom i jasny chrom zazwyczaj ≥ 3,0/maksymalna ≥ 6,0; Niebieski chrom ≥ 5,0 |
/ |
|
Grubość (możliwość dostosowania) |
0,2/0,33/0,5/0,7/1/1,1/1,5/1,6/2/2,3/3mm |
2,3mm |
|
Dokładność pozycjonowania |
Konwencjonalna 2 μm/maksymalna 1 μm |
0,5μm |
|
Dokładność szerokości linii |
Konwencjonalna 0,2 μm/maksymalna 0,1 μm |
0,05μm |
|
Minimalna szerokość linii |
Konwencjonalna 2 μm/maksymalna 1 μm |
0,5μm |
|
Minimalna średnica |
Konwencjonalna 2 μm/maksymalna 1 μm |
0,5μm |