Hoogprecisie kwartsglas retikel fotolithografie retikel
Hoogprecisie glas retikel
,Kwartsglas retikel
,Glas fotolithografie retikel
|
Parameter Informatie |
gewone precisie |
hoge precisie |
|
Materiaal |
Soda glas/kwarts glas/aangepast |
Kwarts glas |
|
Maximale Externe Afmetingen |
Dikte gerelateerd/228.6*228.6mm |
127*127mm |
|
Minimale Externe Afmetingen |
1*1mm |
2*2mm |
|
Maximale Patroon Grootte |
Dikte gerelateerd 218.6*218.6/280*280mm |
121*121mm |
|
Vlakheid |
Grootte gerelateerd/conventioneel 10 μ m |
Grootte gerelateerd |
|
Dichtheidswaarde |
Geel chroom en helder chroom zijn over het algemeen ≥ 3.0/maximaal ≥ 6.0; Blauw chroom ≥ 5.0 |
/ |
|
Dikte (Aanpasbaar) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2/2.3/3mm |
2.3mm |
|
Positie Nauwkeurigheid |
Conventioneel 2 μ m/maximaal 1 μ m |
0.5μm |
|
Lijnbreedte Nauwkeurigheid |
Conventioneel 0.2 μ m/maximaal 0.1 μ m |
0.05μm |
|
Minimale Lijnbreedte |
Conventioneel 2 μ m/maximaal 1 μ m |
0.5μm |
|
Minimale Diameter |
Conventioneel 2 μ m/maximaal 1 μ m |
0.5μm |