Retícula de Fotolitografia de Vidro de Quartzo de Alta Precisão

2Estrutura básica e materiais

(1) Os padrões de círculos concêntricos (geralmente acompanhados de cruzadas) são tipicamente criados na superfície de um substrato óptico transparente (como vidro óptico, quartzo, etc.).) utilizando revestimento a vácuo (como uma película de cromo de alta refletividade) ou fotolitografia.

(2) Design transmissor: Isto significa que opera principalmente no caminho de transmissão da luz, permitindo que a luz passe através da área transparente para obtenção de imagens.pode ser dividido em retículas positivas (o padrão em si é uma camada de cromo opaco) e retículas negativas (a área do padrão é deixada aberta para a transmissão de luz, enquanto o resto é revestido).

(3) Especificações de tamanho: Os anéis têm geralmente um intervalo de diâmetro fixo (por exemplo, 0,5 mm, 1 mm, etc. por nível) e são numerados ou têm uma cruz central para facilitar o alinhamento.

3Principais cenários de aplicação

(1) Calibração do sistema de microscópio:A calibração rápida da correspondência de ampliação após a alteração dos objetivos e a correção dos desvios das leituras de medição é uma ferramenta de calibração comumente utilizada para testes de laboratório de rotina.

(2) Alinhamento do sistema óptico:Serve como alvo de colimação de feixe, auxiliando no ajuste da coaxialidade do caminho óptico do laser e determinando rapidamente se o feixe coincide com o centro do eixo óptico do sistema.

(3) Calibração da visão industrial:Utilizado para correção de distorção radial da câmara, fornecendo referências de posicionamento a nível de subpixels, amplamente aplicado na detecção de defeitos de wafer de semicondutores, medição de coordenadas de buracos em placas de PCB,e outros cenários.

(4) Suporte de instrumentos ópticos de precisão:Instalado no plano de imagem dos telescópios, auxiliando no alinhamento do centro do alvo e na medição do desvio angular.

4.Informações sobre os parâmetros principais