Retícula de Fotolitografia de Vidro de Quartzo de Alta Precisão
Retícula de Vidro de Alta Precisão
,Retícula de Vidro de Quartzo
,Retícula de Fotolitografia de Vidro
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Informações de parâmetros |
precisão ordinária |
alta precisão |
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Materiais |
Vidro de sódio/vidro de quartzo/customizado |
Vidro de quartzo |
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Dimensões exteriores máximas |
Relacionado com a espessura/228,6*228,6 mm |
127*127 mm |
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Dimensões externas mínimas |
1*1 mm |
2*2 mm |
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Tamanho máximo do padrão |
Relacionado com a espessura 218.6*218.6/280*280mm |
121*121 mm |
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Planosidade |
10 μm de tamanho/convencional |
Relacionado com o tamanho |
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Valor da densidade |
O cromo amarelo e o cromo brilhante são geralmente ≥ 3,0/máximo ≥ 6.0; Cromo azul ≥ 5.0 |
/ |
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Espessura (customizável) |
0.2/0.33/0.5/0.7/1/1.1/1.5/1.6/2.3/3mm |
2.3 mm |
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Precisão da posição |
2 μ m/máximo 1 μ m convencionais |
0.5 μm |
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Precisão da largura da linha |
0,2 μm/máximo 0,1 μm convencionais |
00,05 μm |
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Largura mínima da linha |
2 μ m/máximo 1 μ m convencionais |
0.5 μm |
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Diâmetro mínimo |
2 μ m/máximo 1 μ m convencionais |
0.5 μm |